住友的精密定位设备
引领超微技术的XY工作台
我们提供用于FPD及半导体制造设备精密定位的XY工作台。凭借综合机械制造商积累的机械技术与自主研发的控制技术，实现超微级的高精密定位水准。
特点
SA／SL 系列 小型平面工作台
- 1采用低重心H型结构，实现高速度稳定性与定位精度。
- 2通过选配搭载部件，可灵活应对多样化客户需求。
- 3配备反作用力处理机构，实现高速高加减速（1m/s，1G）工况下的高精度驱动。
用途
- 半导体／印刷电路板
- 曝光和高精度检查设备用XY工作台
TL系列 叠层式直线导轨工作台
- 1以低成本提供高精度，高产能工作台。
- 2采用线性马达驱动实现高吞吐性能。
- 3通过自主研发的反作用力处理机构达成高精度定位。
用途
- 半导体／印刷电路板
- 检测及加工设备用XY工作台
产品系列
半导体、印刷电路板曝光、高精度检测设备用XY工作台 SA/SL系列
- 适合晶圆高速扫描运动
- 大幅度降低设备振动
- 可选配Z机构、θ轴机构
半导体、印刷电路板检测设备用XY工作台 TL系列
- 实现晶圆/基板高速定位
- 大幅度降低设备振动
- 可选配Z机构、θ轴机构